分布式架构功能，具备极强的可扩展性，支持多组设备同步控制。支持主流通信协议，可整合第三方PAT设备，实现自动控制和反馈控制。 实时监测和调整工艺参数，支持自定义控制及多种级联控制。 

支持多批次数据查看和对比；支持黄金批次自动运行。 内置DoE实验设计及响应曲面分析，同时支持第三方DoE数据导入，一键执行DoE参数。